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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

臺(tái)階儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

P-17臺(tái)階儀是臺(tái)式探針輪廓儀,是多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。

產(chǎn)品型號(hào):P-17

更新時(shí)間:2024-11-20

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:831

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產(chǎn)品介紹

P-17支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。


產(chǎn)品描述

P-17是臺(tái)式探針輪廓儀,是多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。


該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái),因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過(guò)圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。


臺(tái)階儀主要功能

  •       臺(tái)階高度:幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接

  •       視頻:500萬(wàn)像素分辨率彩色攝像機(jī)

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  •       軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化


臺(tái)階儀主要應(yīng)用

  •       臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

  •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •       應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

  •       缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

  •       大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  •       半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽(yáng)能

  •       MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

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